传统Z轴聚焦模块采用音圈电机或振镜结构,存在负载质量大、响应速度慢、动态性能低等问题。而VCM Z轴聚焦模块突破了传统透镜光路设计方案,显著提升了Z轴聚焦模块的动态性能。高度创新的Z轴结构设计大幅降低了跟随误差,使Z轴与XY振镜的动态性能完美匹配,确保3D振镜的扫描速度不受Z轴动态性能的限制。
传统Z轴聚焦模块采用音圈电机或振镜结构,存在负载质量大、响应速度慢、动态性能低等问题。而VCM Z轴聚焦模块突破了传统透镜光路设计方案,显著提升了Z轴聚焦模块的动态性能。高度创新的Z轴结构设计大幅降低了跟随误差,使Z轴与XY振镜的动态性能完美匹配,确保3D振镜的扫描速度不受Z轴动态性能的限制。
仅使用反射元件,降低在高功率应用中的热透镜效应。
无复杂机械结构,确保长时间运行的稳定性。
模块化设计,便于组装。
高度创新的Z轴结构设计显著降低跟随误差,使Z轴动态性能与XY轴完美匹配。
VCM Z | ||
入口光斑 | Input Beam Aperture(mm) | 14 |
出口光斑 | Output Beam Aperture(mm) | 14 |
行程 | Travel Length(mm) | ±15(Focus range) |
跟随误差 | Tracking Error(ms) | ≥0.15 |
调焦速度 | Focus Speed(m/s) | up to 20m/s (F=160mm) |
重复精度 | Repeatability (μm) | <1 |
非线性度 | Nonlinearity(%) | 0.4 |
>8小时长期漂移 | Long-Term Drift Over 8 hours (μm) | <6 |
电源要求 | Power Requirement | ±15VDC, ≥3A |
通讯协议 | Communication Protocol | XY2-100 |
工作温度 | Operation Temperature(℃) | 25±10 |