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English 利用振镜电机和动态轴的组合，实现三维曲面及大幅面的快速扫描，广泛用于较大幅面的激光精密标刻、激光浮雕激光深雕、激光切割、激光焊接等高端加工领域。
利用振镜电机和音圈电机的组合，实现三维曲面及大幅面的快速扫描。
与电脑通信采用TCP/IP通信协议，可实现1台电脑同时控制多台3D振镜系统。
光路设计中考虑了不同幅面的激光聚焦效果，保证在不同工作范围内实现最小激光聚焦光斑，使能量更加集中。
系统集成度高,安装及使用简便。
光学参数 | ||
激光类型 | Laser Type | UV Laser IR Green |
| 波长 | Wavelength (nm) | 355 1064 532 |
| 镀膜 | Coating | 抗反射膜 |
| 2D振镜方头通光孔径 | Aperture of 2D Galvo Scan Head (mm) | Φ14 |
| Z轴模块入射光斑 | Incident Spot Size Of Z-axis Module(mm) | 9 7 3.5 |
| 扫描角度 | Scan Angle (°) | ±22 |
| 重复精度 | Repeatability (µrad) | 5 |
| 最大增益漂移 | Max.Gain Drift (ppm/K) | 12 |
| >8小时长时间漂移 | Long-term drift over 8 hours (mrad) | 0.3 |
| 最大位置漂移 | Max.Offset Drift (μrad/K) | 30 |
| 最大加工速度 | Maximum Processing Speed(字符characters/s) | 650 |
| 小步距阶跃响应时间 | Small Step Response Time (ms) | ≤0.35 |
| 工作温度 | Operation Temperature (℃) | 0±40 |
| 存储温度 | Storage Temperature (℃) | -10±60 |
| 湿度 | Humidity | ≤75%无凝结 No Condensation |
| 电源要求 | Power Requirements | ±(15+1.5)VDC,max.10A |
| 重量 | Weight (kg) | 8 |
| 尺寸 | Dimensions (mm) | 324x140x181.5 |
